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定期整理爐內的雜質和污染物，以保證真空爐石墨件外表的清潔度。這可以通過使用清水、酸或堿進行清洗來實現，以去除附著在石墨件上的污物和沉積物。
每次拆爐時，整理熱場氧化物，并把真空爐石墨件上的滲硅整理潔凈，導流筒、保溫蓋等要認真擦拭潔凈，防止雜物污染原料。

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