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當(dāng)前位置: 首頁 > 常見問題 > 真空燒結(jié)爐的應(yīng)急策略有什么?
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緊縮空氣的間斷:
1、緊縮空氣失常報警時,設(shè)備處于間斷情況,應(yīng)從速到備用的緊縮機(jī)房,讓其恢復(fù)作業(yè)。
2、真空中如緊縮空氣失常報警,且恢復(fù)需求較長時間時,則間斷真空,讓設(shè)備停下來。
       真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體維護(hù)燒結(jié)及慣例燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它規(guī)劃構(gòu)思新穎,操作便當(dāng),結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急方法。
真空燒結(jié)爐冷卻水失常:
1、承認(rèn)加熱電源已間斷。
2、爐外發(fā)生漏水,冷卻水量失常時,應(yīng)從速采用應(yīng)急方法,如能確保水量,請繼續(xù)堅持真空,如不能采用應(yīng)急方法,堅持原狀,承認(rèn)設(shè)備冷卻下來。
3、冷卻水發(fā)生失常時,設(shè)備處于間斷情況,馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(逾越200℃即視為高溫)時,假設(shè)冷卻水間斷了,假設(shè)不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵或許被損壞。
停電:
1、停電時,假設(shè)斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
2、假設(shè)在非升溫、加熱和冷卻時,能夠從速恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)作業(yè)如需求較長時間,則將設(shè)備堅持原狀。
3、假設(shè)正在加熱和冷卻時,能夠從速恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,假設(shè)需求較長時間時,則堅持原狀,讓設(shè)備天然冷卻下來。
加熱電源掉電:
1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器銜接處有必要銜接健壯,與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源呈現(xiàn)故障,掉電的原因能夠以為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
充氣氣體(氬氣或氮氣)間斷:
1、抽真空開端前,氣體充入時間長或許無法充入時,請承認(rèn)氣體管路是否被阻塞。
2、如氣體管路沒問題,查看電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)間斷后再進(jìn)行查看。
3、向真空室內(nèi)充氣不能間斷的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要封閉氣體供應(yīng)閥及配管在內(nèi)的所有氣體體系。
4、承認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質(zhì)量。
真空室壓力惡化:
1、真空排氣時間比一般長時,應(yīng)把設(shè)備停下來進(jìn)行查看,根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同情況下放氣的影響,也有導(dǎo)致壓力升高的情況。
2、經(jīng)過壓力上升測驗或許用氦氣檢漏來承認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。
      在真空和維護(hù)性氣氛中,對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中心化合物粉末加熱燒結(jié),要獲得必定密度和具有必定機(jī)械性能的資料時,一般選用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀資料置于真空和維護(hù)性氣氛中的高碳模具中,高溫加熱到軟化情況時,加壓成型。這種工藝需求一種真空熱壓燒結(jié)才華實現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特征?,F(xiàn)在這種爐型在我國還未見定型產(chǎn)品。

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