真空感應(yīng)熔煉是全部高溫合金（包括變形、鑄造、粉末高溫合金）熔煉的第一步工序，其工藝優(yōu)點(diǎn)是在防止金屬氧化的前提下，可把易氧化的強(qiáng)化相構(gòu)成元素Al、Ti參加到合金中，前進(jìn)合金功能。因?yàn)檎婵崭袘?yīng)熔煉過程中高溫合金熔體與耐火材料坩堝壁在約1550℃的高溫下持續(xù)發(fā)生化學(xué)反響，生成Al(2)O(3)、ZrO(2)、CrO(3)以及稀土氧化物等陶瓷攙和物，同時澆鑄電極過程中也會帶入耐火材料澆道體系的無機(jī)攙和物。國內(nèi)外對真空感應(yīng)熔煉過程中前進(jìn)高溫合金純潔度的技術(shù)展開了較多的研究工作，提出了包括泡沫陶瓷過濾、氧化鈣（CaO）坩堝精粹、電磁攪拌、旋轉(zhuǎn)鑄錠、復(fù)合熔鹽凈化、電磁軟觸摸成形凈化等工藝方法。其中，泡沫陶瓷過濾凈化法是國內(nèi)外常用也是非常經(jīng)濟(jì)的方法，其除掉合金熔體中陶瓷攙和物的原理包括：尺寸較大的攙和物從合金熔體中過濾、阻擋到過濾網(wǎng)；尺寸較小的攙和物被吸附到陶瓷濾網(wǎng)內(nèi)表面或已被過濾網(wǎng)俘獲的攙和物上。目前，國內(nèi)外用于熔煉高溫合金的陶瓷過濾網(wǎng)質(zhì)料包括Al(2)O(3)、ZrO(2)、莫來石（3Al(2)O(3)·2SiO(2)）、堇青石（2MgO·2Al(2)O(3)·5SiO(2)）等。
真空感應(yīng)熔煉工藝對高溫合金成分的精準(zhǔn)控制國內(nèi)外現(xiàn)已構(gòu)成一致。通過真空下的感應(yīng)熔煉過程（包括氬氣保護(hù)下的精粹、電磁攪拌等），可以把變形高溫合金的主元素、微量元素嚴(yán)峻控制在要求的標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，甚至有害微量元素（Pb、Sn、Bi等）與氣體元素能下降到幾個ppm級（即10(-6)）的水平，通過陶瓷過濾、參加增加劑（C、CaO基熔渣等）以及工藝優(yōu)化，可以把合金中的氧化攙和物和O、N、H顯著下降一級。
真空感應(yīng)熔煉時下降有害氣體（H、O、N）的含量是一個重要工藝環(huán)節(jié)。氫（H）元素在真空下的高溫合金熔體中溶解度很低，加上H與合金元素的親和力小，熔煉過程中分散到氣-液相界面的速度很快，這也是真空感應(yīng)熔煉的變形合金中H含量都很低，可以滿足要求的原因；O元素在高溫合金以固溶態(tài)或氧化物雜質(zhì)方法存在，氧化物攙和下降合金的疲乏及蠕變功能，削減合金中O含量的首要方法包括碳（C）脫氧、去除氧化物脫氧兩種方法，而且以前者為主，C在真空下脫氧的才能很強(qiáng)，根據(jù)的反響動力學(xué)原理是：[C]+[O]=CO（g）↑，因?yàn)檎婵障翪O氣體的不斷揮發(fā)抽除，反響平衡不斷右移，使合金中O含量持續(xù)下降，此外通過增加Al、Ca金屬也可以下降合金中的O含量。合理的熔煉工藝參數(shù)與C、Al、Ca等元素的歸納作用，可以去除合金熔體中的絕大部分O，能抵達(dá)＜10ppm；高溫合金中N以固溶體、氮化物（TiN、Ti（CN）、AlN等）兩種方法存在，而要下降合金中N元素的含量，一方面需采用低N的原材料特別是金屬Cr，另一方面則需求優(yōu)化精粹工藝、采用過濾等方法，研究表明，合金精粹溫度越高，時刻愈長，脫N作用越好，此外對合金熔體進(jìn)行電磁攪拌，也可以促進(jìn)脫N反響進(jìn)行。
真空感應(yīng)熔煉工藝的另一個重要功能就是對高溫合金回來料的純潔回收再利用。車屑在高溫合金回來猜中占了一大部分，因此，研究車屑的純潔熔煉有顯著的含義。國外采用真空感應(yīng)熔煉運(yùn)用Y(2)O(3)坩堝，通過實(shí)驗(yàn)研究了GH4169車屑合金回來料重熔后的O、N含量，發(fā)現(xiàn)跟著真空度前進(jìn)，合金中N、O含量下降（N從72ppm下降到7ppm；O含量從28ppm下降到8ppm）；升高熔煉溫度，合金熔體中N含量無顯著變化而O無顯著變化，而O含量與脫氧劑C的增加量有必定聯(lián)絡(luò)。
真空感應(yīng)熔煉工藝雖然在高溫合金成分精準(zhǔn)控制、回來料回收等方面優(yōu)勢杰出，可是制備的鑄錠內(nèi)部存在偏析內(nèi)部縮孔與疏松、陶瓷攙和物等，真空感應(yīng)熔煉制備的母合金或電極棒需求進(jìn)行重熔，以進(jìn)一步前進(jìn)材料的冶金質(zhì)量和力學(xué)功能。